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中科芯微取得直线型机械手专利,有效阻隔污染物进入传动区域

2026年09月08日 17:53
 

国家知识产权局信息显示,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司取得一项名为“直线型机械手”的专利,授权公告号CN224698284U,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本实用新型公开了直线型机械手,涉及半导体晶圆搬运设备,包括:直线型机械手,包括:固定壳体,开设有条形开口;移动组件,可移动地设置于所述固定壳体内,移动组件的部分通过所述条形开口伸出;动态密封组件,横跨所述条形开口设置,所述柔性密封件与所述移动组件连接,其中,所述柔性密封件能够随所述移动组件的移动而相对于所述导向支撑件产生适应性形变与位移,以持续封闭所述移动组件与所述固定壳体之间的动态间隙。采用上述方案,高效动密封壳体与执行部件之间间隙,有效阻隔污染物进入传动区域及避免内部颗粒发散到洁净室内。

天眼查资料显示,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司,成立于2020年,位于沈阳市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,中科芯微智能装备(沈阳)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息75条,此外企业还拥有行政许可8个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。