国家知识产权局信息显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种晶圆传输平台机械手结构”的专利,公开号CN122323117A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种晶圆传输平台机械手结构,通过对晶圆传输平台机械手结构进行改进,进一步提高了传输平台对不同晶圆尺寸的适配性,提高了生产效率。晶圆传输平台机械手结构包括机械臂本体、执行组件以及用以将所述执行组件连接至所述机械臂本体的连接板;所述执行组件包括竖向分布的一类执行端和二类执行端,所述一类执行端和所述二类执行端中的至少一个能够作为移动执行端,所述移动执行端能够围绕第一转轴转动以切换于收纳位和承托位;或者,所述移动执行端能够围绕第二转轴转动以切换于收纳位和承托位;所述第一转轴与所述连接板位于同一平面,所述第二转轴垂直于所述连接板。
天眼查资料显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目272次,财产线索方面有商标信息36条,专利信息540条,此外企业还拥有行政许可14个。
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